Компания HexaTech Inc. из Моррисвилля, Северная Каролина, США, запустила свою линейку 2-х дюймовых продуктов из нитрида алюминия (AlN). Коммерческий поставщик монокристаллических подложек нитрида алюминия представляет новый продукт в связи с проходящей Международной конференцией по технологиям производства и применениям ультрафиолетовых светодиодов (ICULTA-2018) в Берлине, Германия.
Представители Hexatech подчеркивают, что подложки из карбида кремния и сапфира имеют значительное несоответствие кристаллической решетки в сравнении с нитридной структурой. Более того, компания говорит, что светодиодам, которые используют такие подложки, приходится существенно компенсировать это несоответствие, что в итоге приводит к большему количеству дефектов в конечных устройствах, делая их менее надежными. Фактически, компания заявляет, что ее процесс демонстрирует в 10 000-1 000 000 раз меньше дефектов (по плотности дислокаций) по сравнению с толстыми пленками нитрида алюминия, наращиваемыми из гидридной паровой фазы (HVPE), по сравнению с эпитаксиальным латеральным наращиванием нитрида алюминия, и структурами нитрида алюминия на сапфире или карбиде кремния.
Подложки нитрида алюминия поставляются с ориентацией кристаллической решетки в плоскости C и M
Компания производит подложки нитрида алюминия (AlN) с ориентацией кристаллической решетки в плоскости С и М. Подложки AlN с ориентацией в С-плоскости предлагаются в прозрачных и полупрозрачных для ультрафиолетовых лучей исполнениях. Подложки в М-плоскости также выпускаются в полупрозрачных для ультрафиолета версиях.
По словам Джона Гоерке, генерального директора HexaTech, новые подложки из нитрида алюминия являются результатом целенаправленных исследований и разработок, которые показали прорывные результаты процесса выращивания кристаллов нитрида алюминия. Он добавил: «Вместе с сильной поддержкой со стороны наших стратегических партнеров, в том числе компании OSRAM, о чем мы объявляли в прошлом году, мы снова подняли планку в сфере технологий производства подложек нитрида алюминия, предоставляя возможность получать лучшие в мире показатели эффективности работы самых передовых устройств».
«Бросая вызов имеющимся ограничениям, и активно разрабатывая новые решения на каждом этапе процесса роста кристаллов, мы серьезно развили профессиональные компетенции, что позволяет преодолевать ранее наблюдаемые нами ограничения. Этот этап пройден благодаря выдающейся командной работе, и создана основа как для дальнейшего увеличения диаметра кристаллов, так и повышения эффективности процесса выращивания, что в конечном итоге позволит вывести соотношение цены и качества на уровень с другими зрелыми полупроводниковыми технологиями, такими как карбид кремния и арсенид галлия», - заявил доктор Рауль Шлессер, один из основателей HexaTech и вице-президент по разработкам направления «Кристаллы и подложки».
Подложки диаметром 2 дюйма от HexaTech предлагаются со стандартными сроками производства и поставки.